DVS-Berichte, Band 193:
Silizium-Waferbonden: Montageprozesse für Silizium- und Glasmaterialien in der Mikromechanik
Artikel-Nr.: 300193
ISBN: 978-3-87155-499-5
Autor: M. Wiemer, K. Herziger, Th. Geßner
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Produktinformationen
- ISBN
- 978-3-87155-499-5
- Reihe
- DVS-Berichte,
- Band
- Band 193:
- Erscheinungsdatum
- November 1998
- Autor
- M. Wiemer, K. Herziger, Th. Geßner
- Bindung
- 75 Bilder, 13 Tabellen
- Seiten
- 98