IGF-Nr.: 17.370B / und Herstellung von neuartigen reaktiven Multilayersystemen (RMS) für die Mikroverbindungstechnik durch PVD

Produktinformationen

Nach Beendigung des Vorhabens werden reaktive Multischichtsysteme (RMS) zur Verfügung stehen, die speziell für Anwendungen in der Mikrosystemtechnik maßgeschneidert sind. Sowohl die direkte Beschichtung von Bauteilen, als auch die Herstellung freistehender RMS werden realisierbar sein. Ebenso werden Kenntnisse vorliegen, welche Kombinationen aus Grundwerkstoff, Lot und RMS die nötigen Zuverlässigkeiten, Genauigkeiten und Festigkeiten für das reaktive Fügen erfüllen.
Ein weiteres wichtiges Ergebnis des Vorhabens wird sein, dass alle bei der Beschichtung relevanten Prozessparameter, wie Vorbehandlung, Teilchenenergie und Schichtdesign bekannt sein werden. Ebenso sind die Einflüsse des Schichtdesigns, wie Materialzusammensetzung, Einzelschichtdicke, Periodendicke, Schichtdickenverhältnisse, sowie die Eigenschaftsänderungen der RMS beim Einsatz von Barriere- und Deckschichten und Ihre Auswirkungen auf die Menge freigesetzter Energie und die Propagationsgeschwindigkeit herausgearbeitet worden.
Der Einsatz einer lokalen Wärmequelle in Form schnell reagierender RMS zur Herstellung von Lötverbindungen minimiert den Wärme- und Spannungseintrag in angrenzende Bauteile, da die Wärme lokal im Fügespalt freigesetzt wird und eine Volumenerwärmung nicht mehr notwendig ist. Somit eröffnen sich durch den Einsatz von RMS Anwendungsfelder wie das Fügen wärmeempfindlicher Bauteile, das Fügen von thermisch und mechanisch sehr verschiedenen Werkstoffen und das Präzisionsfügen.
Ein erster Ansatzpunkt für eine direkte industrielle Verwertung der Ergebnisse bietet sich durch die Kontakte mit den Firmen des projektbegleitenden Ausschusses, welche definierte Anforderungsprofile und Anwendungen vorlegen. So sind Trends am Markt schneller erkennbar und es kann bereits im Verlaufe des Projektes darauf reagiert werden. Darüber hinaus werden die Erkenntnisse zur Herstellung von RMS in Fachzeitschriften und auf Tagungen oder Workshops veröffentlicht.

ISBN

978-3-96870-264-3

Reihe

DVS Forschungsvereinigung,

Band

Band: 265

Erscheinungsdatum

November 2014

Bindung

E-Book im PDF Format

Seiten

58